Pemrosesan bagian presisi tidak dapat menyelesaikan semua isi pemrosesan semua permukaan dalam satu proses. Seluruh proses pemesinan pemrosesan bagian presisi dapat dibagi menjadi tahap-tahap berikut:
(1) Rising stage. Sebagian besar tunjangan permesinan dihilangkan dari masing-masing permukaan mesin, dan referensi halus dibuat. Pertimbangan utamanya adalah untuk meningkatkan produktivitas sebanyak mungkin.
(2) Tahap semi-finishing. Penghilangan cacat yang mungkin terjadi setelah pemesinan kasar mempersiapkan permukaan untuk pemesinan akhir, membutuhkan tingkat ketelitian pemesinan tertentu, menjamin kelonggaran akhir yang sesuai, dan melengkapi pemesinan permukaan sekunder pada saat yang sama.
(3) tahap finishing. Pada tahap ini, kecepatan potong besar, laju umpan kecil, dan kedalaman potong digunakan untuk menghilangkan kelonggaran akhir yang ditinggalkan oleh proses sebelumnya, sehingga permukaan bagian tersebut mencapai persyaratan teknis pola tersebut.
(4) tahap finishing. Hal ini terutama digunakan untuk mengurangi nilai kekasaran permukaan atau memperkuat permukaan mesin. Ini terutama digunakan untuk pengolahan permukaan dengan kekasaran permukaan tinggi (ra≤0.32 μm).
Tahap pemrosesan ultra-presisi. Presisi pengolahan adalah 0.1-0.01μm dan nilai kekasaran permukaannya ra ≤ 0.001μm. Metode pemrosesan utamanya adalah: pemotongan presisi, penggilingan cermin presisi, penggilingan presisi dan pemolesan, dll